tw1985808 发表于 2024-9-23 12:30
空气颗粒度吧？晶圆的没听说过
就是检测晶圆表面颗粒的
Goman 发表于 2024-9-23 12:39
找厂家咨询，或者是三方校准机构，他们都有办法
中国计量院回复说可以试着校一下，但是要好几个w，而且还有20天的周期，在校准路上又会有被污染的风险，重新买一个标片也要上万，就是考虑到成本问题，也不可能每年都换新的标片
chinape 发表于 2024-9-23 19:15
有没有标准物，
那那个试试
只有一个标准片，现在不知道标准片怎么校准，中国计量院说可以试着校一下，但是成本太高了~重新买个标片也要上完，也不可能每年换新的标片
Goman 发表于 2024-9-23 12:40
再不行直接买一个校准证书
可以这样吗！！？:o
liu645241446 发表于 2024-9-23 17:55
表面颗粒检测仪一般需要进行外校。对于标片的定义是dummy片嘛？检测环境需要优于无尘室标准ISO6级 ...
表面颗粒检测仪外校的话，不太现实，还要把设备搬出无尘车间，我们使用环境是完全满足百级要求的；标片是买的一个自带很多颗粒的si片，有固定的count值，就是检出的颗粒数目最多对应的那个粒径值，是已知的0.204um，校准就看设备检测出这个si片的count值和标片标示的允差是否在3%，现在不知道标片怎么校，因为成本太高了:'(
Homeland 发表于 2024-9-23 14:16
自己没经验只有咨询厂家和第三方机构最靠谱了
嗯嗯，问了厂商，说标片校准的话要寄到国外，而且价格不菲；中国计量院说可以试着校，但是也要好几个W,重新买个标片也要上万，也不可能每年换新标片
stever 发表于 2024-9-23 13:42
厂家指导一下
设备是二手的，标片厂商说要么重新买个标片，要上w，要么把标片寄到国外校准，价格也不菲:'(
玉米 发表于 2024-9-24 16:20
找厂家或者三方吧
第三方就中国计量院说可以试着校一下，但是要好几w，还有20多天周期，会有污染的风险，厂家也说要么重新买标片，要么寄到国外校准，成本也很高
糖醋恐龙 发表于 2024-9-25 21:09
设备是二手的，标片厂商说要么重新买个标片，要上w，要么把标片寄到国外校准，价格也不菲 ...
国外校准不实际
买了多久了，如果不超过一年二手的也可以要求他证明他的设备可靠，看他们怎么操作
糖醋恐龙 发表于 2024-9-25 21:00
可以这样吗！！？
为什么不行呢 ，就算不说，懂的也都懂。