人机料法环测学习！！
应从人、机、料、法、环、测几个方面加以注意，以保证分析结果的准确性。（１）人：从事元器件失效分析的人员应具备：
第一，对所分析的失效的元器件的结构原理及其构造情况应熟知；
第二，应熟知被分析元器件的制造过程；
第三，应了解被分析元器件的使用情况；
第四，应会操作分析用的设备、仪器；
第五，工作认真，敬业；应有物理、化学和电方面的理论知识和工作的实践经验。
（２）机：国防系统的企业一般都有元器件实验室，其中失效分析所用的设备花钱最
多。满足失效分析工作要求应有观测设备，如扫描电子显微镜、Ｘ射线仪、摄影设备
等；分析设备，如质谱仪、红外光谱分析仪等；试验设备，如恒定加速度机、高低温试
验箱等；电特性测试仪器，如示波器、电压表等；各种辅助工具。
（３）料：指被分析的失效的元器件，要认真收集，仔细保护，不得人为损伤它，以
避免带入新的非原有的失效因素，否则会得出错误的分析结果。
（４）法：要根据元器件的失效模式和假设的失效机理，选择合适的分析方法进行分
析。
施；
（５）环：除另有规定外，失效分析应在下列环境下进行：
①精密测试室应无振动，洁净度符合要求；有接地装置；能采取静电放电防护措
②温度要求：电测量时要求２０～２８℃，其他试验时要求１５～３５℃；
③相对湿度：２０％～８０％。
（６）测：所用的测试仪器的精度要满足分析所需精度的要求，而且测试环境要符合
规定要求
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