糖醋恐龙
发表于 2024-9-23 11:50:35
晶圆颗粒仪校准
向各位前辈请教一下，你们的晶圆表面颗粒检测仪有校准嘛？怎么校准呀？公司有标片，但是标片一打开就会被污染，把标片送外校也不现实，原本是把设备定的免校，但是审核到又被记了问题点~
tw1985808
发表于 2024-9-23 12:30:27
空气颗粒度吧？晶圆的没听说过
Goman
发表于 2024-9-23 12:39:40
找厂家咨询，或者是三方校准机构，他们都有办法
Goman
发表于 2024-9-23 12:40:08
Goman 发表于 2024-9-23 12:39
找厂家咨询，或者是三方校准机构，他们都有办法
再不行直接买一个校准证书
WJ605
发表于 2024-9-23 12:50:38
找三方
stever
发表于 2024-9-23 13:42:46
厂家指导一下
Homeland
发表于 2024-9-23 14:16:27
自己没经验只有咨询厂家和第三方机构最靠谱了
liu645241446
发表于 2024-9-23 17:55:04
表面颗粒检测仪一般需要进行外校。对于标片的定义是dummy片嘛？检测环境需要优于无尘室标准ISO6级
chinape
发表于 2024-9-23 19:15:01
有没有标准物，
那那个试试
玉米
发表于 2024-9-24 16:20:46
找厂家或者三方吧