晶圆颗粒仪校准

糖醋恐龙 · 发表于 2024-9-23 11:50:35

向各位前辈请教一下，你们的晶圆表面颗粒检测仪有校准嘛？怎么校准呀？公司有标片，但是标片一打开就会被污染，把标片送外校也不现实，原本是把设备定的免校，但是审核到又被记了问题点~

糖醋恐龙 · 发表于 2024-9-25 21:06:32

liu645241446 发表于 2024-9-23 17:55
表面颗粒检测仪一般需要进行外校。对于标片的定义是dummy片嘛？检测环境需要优于无尘室标准ISO6级 ...

表面颗粒检测仪外校的话，不太现实，还要把设备搬出无尘车间，我们使用环境是完全满足百级要求的；标片是买的一个自带很多颗粒的si片，有固定的count值，就是检出的颗粒数目最多对应的那个粒径值，是已知的0.204um，校准就看设备检测出这个si片的count值和标片标示的允差是否在3%，现在不知道标片怎么校，因为成本太高了

糖醋恐龙 · 发表于 2024-9-25 20:59:16

Goman 发表于 2024-9-23 12:39
找厂家咨询，或者是三方校准机构，他们都有办法

中国计量院回复说可以试着校一下，但是要好几个w，而且还有20天的周期，在校准路上又会有被污染的风险，重新买一个标片也要上万，就是考虑到成本问题，也不可能每年都换新的标片

糖醋恐龙 · 发表于 2024-9-25 21:08:06

Homeland 发表于 2024-9-23 14:16
自己没经验只有咨询厂家和第三方机构最靠谱了

嗯嗯，问了厂商，说标片校准的话要寄到国外，而且价格不菲；中国计量院说可以试着校，但是也要好几个W,重新买个标片也要上万，也不可能每年换新标片

tw1985808 · 发表于 2024-9-23 12:30:27

空气颗粒度吧？晶圆的没听说过

Goman · 发表于 2024-9-23 12:39:40

找厂家咨询，或者是三方校准机构，他们都有办法

Goman · 发表于 2024-9-23 12:40:08

Goman 发表于 2024-9-23 12:39
找厂家咨询，或者是三方校准机构，他们都有办法

再不行直接买一个校准证书

WJ605 · 发表于 2024-9-23 12:50:38

找三方

stever · 发表于 2024-9-23 13:42:46

厂家指导一下

Homeland · 发表于 2024-9-23 14:16:27

自己没经验只有咨询厂家和第三方机构最靠谱了

liu645241446 · 发表于 2024-9-23 17:55:04

表面颗粒检测仪一般需要进行外校。对于标片的定义是dummy片嘛？检测环境需要优于无尘室标准ISO6级

chinape · 发表于 2024-9-23 19:15:01

有没有标准物，
那那个试试

玉米 · 发表于 2024-9-24 16:20:46

找厂家或者三方吧

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