平晶测量操作指导书

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平晶测量操作指导书

1.原理：用光学平晶的工作面作为理想平面，直接以干涉条纹的宽窄、弯曲程度确定被测表面的乎面度误差值。用平晶以技术光波干涉法检定测量面平面度时出现的干涉条纹，其干涉原理是等厚干涉。即同一干涉条纹处在同一高度上。

干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆盖的整个被测平面上，用平晶工作面体现理想平面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由计算所得的结果作为平面度误差值。

干涉条纹的形状一般有直线、圆形和弧形三种。

直线形等距的于涉条纹或没有条纹说明被检工作面非常平整。

直线形不等距干涉条纹说明平面有弯曲。

圆形干涉条纹说明被检工作面为球面，圆心为工作面的中凸或中凹的中心点

判断凹凸的方法1：是用手轻压平晶中央，如干涉条纹向内跑即为中凹，向外跑即为中凸。

判断凹凸的方法2:当接触线(平晶与被测件接触处)在干涉条纹所形成的弯曲弧线里边时，则表明该表面是凸形的;倘若在外边，则表明该表面为凹形的.

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