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TCASA 004.2-2018 《4H 碳化硅衬底及外延层缺陷图谱》

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品质协会高级会员

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发表于 2022-8-12 10:31:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
SIC 晶圆缺陷介绍 图谱 T/CASA 004.2-2018 《4H 碳化硅衬底及外延层缺陷图谱》 The Metallographs Collection for Defects in both 4H-SiC Substrates and Epilayers 版本：V01.00

TCASA 004.2-2018 《4H 碳化硅衬底及外延层缺陷图谱》.pdf

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