关节臂式坐标测量机测量力误差分析及补偿

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针对接触测量力对关节臂式坐标测量机（ＡＡＣＭＭ）测量精度的影响展开研究。对测量力引起的长度测量误差进行理
论和实验分析，得到测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形是影响关节臂式坐标测量机测头精度的主要因素。建立了关节
臂式坐标测量机测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形的数学模型，并对测量结果进行了测量力误差补偿。实验结果研究
表明，测量力引起的误差对接触式关节臂式坐标测量机测量精度影响很大。通过本研究成果，可在很大程度上补偿测量力引起
的误差：平均长度测量误差降低８２％左右，最大误差降低约４７μｍ，有效地提高了关节臂式坐标测量机的测量精度。
关键词：关节臂式坐标测量机；测量力；测杆弯曲变形；误差补偿
中图分类号：ＴＨ７２１　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：４６０．４０

ひろみ

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