用于车规产品的晶圆制造设备的要求

elinlp2023 · 发表于 2023-4-12 15:42:23

各位大佬，在晶圆生产过程中，作业车业产品的设备需要什么条件？谢谢！

耳语 · 发表于 2023-4-13 13:44:10

晶圆加工生产设备，FAB内没有区分是做车规还是消费级的吧，只是性能接收标准，设计规则、工艺制程和可靠性等方面的区别吧？我理解的设备本身制造加工能力和工艺平台的要求应该是有关的，比如xx纳米制程等

yifan99 · 发表于 2023-4-12 16:41:38

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