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原子力显微镜的GRR

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精华

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发表于 2024-8-16 09:58:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 糖醋恐龙 于 2024-8-16 10:02 编辑

大家有做过原子力显微镜的MSA吗?怎么做的啊,求解答,谢谢大家!
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发表于 2024-8-16 10:19:19 | 显示全部楼层
本帖最后由 泛舟吴楚 于 2024-8-16 10:21 编辑

测表面粗糙度吗?
正常做就行,选样的时候拉开点差距,能覆盖制程变化范围
测的时候  测同样点位,避免不均匀性的影响
个人经验,仅供参考

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精华

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 楼主| 发表于 2024-9-2 14:36:47 | 显示全部楼层
泛舟吴楚 发表于 2024-8-16 10:19
测表面粗糙度吗?
正常做就行,选样的时候拉开点差距,能覆盖制程变化范围
测的时候  测同样点位,避免不均 ...

好的好的~谢谢大佬

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发表于 2024-8-16 11:30:32 | 显示全部楼层
泛舟吴楚 发表于 2024-8-16 10:19
测表面粗糙度吗?
正常做就行,选样的时候拉开点差距,能覆盖制程变化范围
测的时候  测同样点位,避免不均 ...

不错的经验分享
什么都感兴趣,什么都学不好。业精于勤,精于细。

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发表于 2024-8-16 14:44:49 | 显示全部楼层
这种是不是只要做一致性评价就可以了?

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发表于 2024-8-17 08:35:15 | 显示全部楼层
显微镜也要做,靠谱吗?

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 楼主| 发表于 2024-9-2 14:38:44 | 显示全部楼层
1106965040 发表于 2024-8-17 08:35
显微镜也要做,靠谱吗?

我们是要用来测产品的一个粗糙度,也是计量型的,但是它精度又太高,我们制程用到的范围又很小,就有点苦恼
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