请问下大神们，激光干涉仪用什么校准

lqxiaocat · 发表于 2024-10-25 16:22:38

请问下大神们，激光干涉仪用什么校准的。我目前是用平面平晶校准的，只有面型图案，没有数值，那没有数值的校准，该怎么做内部校准记录呀

laker · 发表于 2024-10-26 08:00:08

坐等答案

2017yuan · 发表于 2024-10-26 08:36:39

感谢分享！

tryma · 发表于 2024-10-26 08:54:01

谢谢

hutian02 · 发表于 2024-10-26 15:17:00

联系设备厂家

liu16949 · 发表于 2024-10-27 10:46:03

校准思考：
1、联系厂家，寻求校准支持；
2、可按照JJG 739-2005 《激光干涉仪检定规程》，寻求第三方计量机构按照检定规程校准；

哎呦不错哦 · 发表于 2024-10-28 09:49:46

这是测面型的吧，zygo?

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